【半導体業界へのタンブラーミキサーの提案】
半導体業界においてもタンブラーミキサーは、次のような用途が期待できます。
・半導体材料の混合
Si、Geなどの半導体材料粉末の均一混合が可能
・封止材料の混合
エポキシ樹脂や窒化アルミなどの封止材料を低剪断で混合
・スラリー調製
フォトレジストやCMP(化学的機械的研磨)スラリーを作製
半導体製品は高純度が求められ、混合時の汚染や材料損傷が懸念されます。
しかしタンブラーミキサーは低せん断で混合できるため、この課題を解決することが可能です。さらに材質は、ステンレス(SUS304・SUS316L)製で、接粉部に電解研磨などの処理を施すことで、よりコンタミネーション御懸念がない高純度製品の混合が可能になります。
こうした利点から、現在需要が高まる一方の半導体業界においても、タンブラーミキサーの需要は高まってくるものと予想されます。